蔡司 EVO 扫描电镜
模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用。在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，EVO都可以根据您的要求量身定制。
①显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
②使用LaB6灯丝，能够得到优异的图像质量
③对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能
④可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求
便捷的可用性：
简单易学，减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持，需要自动化工作流程，以执行可重复检查任务的操作。
图像质量：
EVO擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO还允许样品保留其原始状态， 维持含水和重污染样品的数据质量。选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。
智能导航与成像：
大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。
蔡司导航相机：
相机可以安装在仓室前方，以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机)；或安装在真空室仓门上方 (导航相机)，利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置， 并在整个样品测试过程中导航。
自动化智能成像：
EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。能够自定义边界区域，自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域，并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。
使用六硼化镧电子发射器获得图像:
六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面:
1、在相等电子探针尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探针电流可供使用， 从而使图像导航和优化更容易。
2、在相等的探针电流 (信噪比) 下， 光斑直径要小得多， 从而提高了图像分辨率。
技术参数：
| 蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 |
| 选择EVO 10（可选配BSD和EDS） | EVO 15增加了对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式 |
最大样品高度 | 100 mm | 145 mm |
最大样品直径 | 230 mm | 250 mm |
电动载物台行程XYZ | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm |
高真空模式 (HV)
导电样品质量的成像与分析 | ✔ | ✔ |
可变压力模式 (VP) 不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析 | ✔ | ✔ |
扩展压力模式 (EP)
含水或被污染的样品在其自然状态下成像 | ✔ | ✔ |
EVO 应用案例
生产与装配企业：
质量分析/质量控制；失效分析/金相分析；清洁度检查；颗粒的形态和化学分析， 以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准；非金属夹杂物的分析。
电子半导体：
目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池；铜丝表面及晶体结构的研究；金属腐蚀研究
；断面失效分析；Wire bonding线脚检查；电容表面成像。
钢铁和其它金属：
对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析；相、颗粒、焊缝和失效分析。
原材料：
地质样品的形态、矿物学和成分分析；对金属、断裂和非金属夹杂物的结构进行成像和分析；微粉化和造粒过程中原料化学成分和活性成份的形态和成分分析。
材料科学研究：
用于研究导电和不导电材料样品的特征。
生命科学：
对植物、动物和微生物的研究。
司法鉴定：
枪击残留物（GSR）；油漆和玻璃分析；钞票和硬币伪造；头发和纤维比较；法医毒理学。
